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真空等離子清洗機(jī)常用泵的真空度和適用范圍的介紹!

返回列表 來源:真空技術(shù)與設(shè)備網(wǎng) 瀏覽: 發(fā)布日期:2021-11-02 16:22【
文章導(dǎo)讀:真空泵是真空等離子清洗機(jī)必備的組件之一。沒有真空泵等離子清洗機(jī)腔體真空度無法達(dá)到處理要求。真空泵種類繁多,可能很多使用者不是特別清楚,對(duì)于真空泵的選型是設(shè)計(jì)工作需要解決的問題。了解了常用真空泵的真空度和適用范圍,可以有助于等離子清洗機(jī)進(jìn)行真空泵的選型。
        真空泵是真空等離子清洗機(jī)必備的組件之一。沒有真空泵等離子清洗機(jī)腔體真空度無法達(dá)到處理要求。真空泵種類繁多,可能很多使用者不是特別清楚,對(duì)于真空泵的選型是設(shè)計(jì)工作需要解決的問題。了解了常用真空泵的真空度和適用范圍,可以有助于等離子清洗機(jī)進(jìn)行真空泵的選型。
真空等離子清洗機(jī)
        1.液環(huán)泵是一種粗真空泵。液環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,所以可用于抽除易燃易爆的氣體,此外還可用于抽除含塵、含水的氣體。受工作液飽和蒸氣壓的限制,真空度低。用水做工作液,極限真空 2000 ~ 4000Pa ;用油作工作液,極限真空約130Pa。
        2.旋片泵是一種油封式機(jī)械真空泵。它可直接從大氣壓起動(dòng)抽氣 ;可單獨(dú)做低真空泵用,也可與其他高真空泵組合作為前級(jí)泵用;體積小、重量輕、噪音低,特別適合實(shí)驗(yàn)室使用;該泵不可用來抽含氧過高的、有毒的易爆的或與泵油發(fā)生化學(xué)作用的或?qū)谏饘儆懈g作用的氣體。極限真空 ≤1.3Pa。
        3.滑閥泵是一種油封式機(jī)械真空泵。常用在大型真空設(shè)備上,具有高真空、低噪音、少震動(dòng),壽命長(zhǎng),不易漏油的特點(diǎn),可用于抽有較高溫度、有輕微粉塵和腐蝕性的氣體,特別是含少量水蒸氣的混合氣體。分為單級(jí)和雙級(jí)兩種型式。單級(jí)泵的極限壓力對(duì)小泵 ≤0.6Pa,對(duì)大泵 ≤1.3Pa(均關(guān)氣鎮(zhèn)),雙級(jí)泵的極限壓力 ≤0.06Pa(關(guān)氣鎮(zhèn))。抽速大于150L/s 的滑閥泵多采用單級(jí)型式。
        4.羅茨泵是一種變?nèi)菡婵毡?。特點(diǎn)是啟動(dòng)快,耗功少,運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低,抽速大、效率高,對(duì)被抽氣體中含少量水蒸氣和灰塵不敏感,在100 ~ 1Pa 壓力范圍內(nèi)有較大抽氣速率,能迅速排除突然放出的氣體,不需要油潤(rùn)滑 ;轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450 ~ 4100r/min;抽氣速率為30~ 10000L/s。極限真空:?jiǎn)渭?jí)泵為6.5×102Pa,雙級(jí)泵為1×103Pa。
        5.擴(kuò)散泵是一種動(dòng)量傳輸泵。特點(diǎn)是可獲得高真空,用于真空冶煉鍍膜、空間模擬實(shí)驗(yàn)和對(duì)油污染不敏感的真空系統(tǒng)。極限真空為10-4~ 10-5Pa。
        6.往復(fù)泵是一種變?nèi)菡婵毡?,有干式和濕式之分。抽氣量范圍大,可達(dá)15 ~ 5 500L/s,抽氣效率不高。不適用抽除腐蝕性或含微小顆粒的氣體,如果被抽氣體中含顆粒,進(jìn)口處必裝過濾器。單級(jí)泵極限真空約為400 ~ 103Pa,雙級(jí)泵極限真空約為1Pa。
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    1)能有效去除大于3μm的顆粒
    2)不需要高純水和化學(xué)藥劑等,同時(shí)不需要后續(xù)烘干工藝
    3)設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)單,只需進(jìn)行簡(jiǎn)單的清洗和更換
    4)沿噴嘴線性均衡的超聲波使得工件橫向清洗性能保持一致
    5)非接觸式的清洗方式避免損壞工
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    ‌高效徹底‌:能夠深入微納米級(jí)孔隙中,徹底清除難以觸及的污染物。

    ‌環(huán)保節(jié)能‌:無需使用化學(xué)溶劑,減少?gòu)U水廢氣排放,符合綠色生產(chǎn)要求,且能耗低。

    ‌廣泛適用‌:適用于多種材料表面,包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等,不會(huì)對(duì)材料性能產(chǎn)生負(fù)面影響。

    ‌工藝可控‌:通過調(diào)整工作氣體種類、壓力、功率等參數(shù),可精確控制清洗過程‌。


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