DBD介質(zhì)阻擋等離子清洗機有哪些結(jié)構(gòu)？如何選擇？

來源：普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2020-10-22 10:02【大中小】

文章導(dǎo)讀：DBD介質(zhì)阻擋等離子清洗機通常是在大氣環(huán)境中進行等離子體放電，因而會與真空等離子處理設(shè)備的放電有所不同，接下來就與大家介紹一下DBD介質(zhì)阻擋等離子清洗機放電相關(guān)內(nèi)容。

DBD介質(zhì)阻擋等離子清洗機通常會在金屬電極之間加入絕緣介質(zhì)材料，形成一種非平衡態(tài)的氣體放電。一般來說DBD等離清洗機的電極會選擇兩個平行電極，并且其中至少一個電極會覆蓋一層介質(zhì)材料，并通過對電極間距的把控，實現(xiàn)大氣壓等離子體放電的穩(wěn)定性。

根據(jù)放電氣體、激發(fā)電壓以及頻率的不同，DBD介質(zhì)阻擋等離子清洗機就能夠在兩電極之間產(chǎn)生絲狀或輝光等離子體。常見的DBD介質(zhì)阻擋等離子清洗機的電極結(jié)構(gòu)主要有幾種，主要可分為基礎(chǔ)電極結(jié)構(gòu)、圓柱電極結(jié)構(gòu)、沿面電極結(jié)構(gòu)三種，我們先來看一下基礎(chǔ)電極結(jié)構(gòu)，下圖是基礎(chǔ)電極結(jié)構(gòu)中較為傳統(tǒng)和簡單的。常被用作材料表面改性和臭氧發(fā)生器，金屬電極可提高放電產(chǎn)生熱量的傳遞速度。

另一種DBD等離子處理設(shè)備的電極結(jié)構(gòu)大致如下圖所示，等離子體放電在兩介質(zhì)層之間進行，等離子體能夠避免與金屬電極直接接觸。而且這種雙介質(zhì)層與單介質(zhì)層放電結(jié)構(gòu)相比，等離子體更均勻，放電絲更細，適用于離化腐蝕性氣體和產(chǎn)生高純等離子體。

另外還有一種如下圖，它主要用于在同一等離子體發(fā)生系統(tǒng)內(nèi)產(chǎn)生不同的等離子體。

當(dāng)DBD等離子清洗機采用圓柱結(jié)構(gòu)，一般主要用來產(chǎn)生低溫等離子體炬，以完成對不規(guī)則的材料表面進行改性，下圖為常見的3種圓柱電極結(jié)構(gòu)。

沿面電極結(jié)構(gòu)在實際應(yīng)用中，主要用以產(chǎn)生面等離子體，在航空器件的等離子體隱身等方面較為常見。
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