表面處理燃起的一顆“新星”——等離子表面處理
等離子體基礎(chǔ)知識(shí)：等離子體是區(qū)別于固體、液體和氣體的另一種物質(zhì)聚集態(tài)，人們稱之為物質(zhì)存在的第四種狀態(tài)。它由電離的導(dǎo)電氣體組成，其中包括六種典型的粒子，即電子、正離子、負(fù)離子、激發(fā)態(tài)的原子或分子、基態(tài)的原子或分子以及光子。等離子體中的基本粒子見下表：
等離子體清洗原理：通過化學(xué)或物理作用對(duì)工件表面進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)分子水平的污染物去除（一般厚度為幾個(gè)～幾十個(gè)nm），從而提高工件表面的活性。被清除的污染物可能為有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等。對(duì)應(yīng)不同的污染物，應(yīng)采用不同的清洗工藝，根據(jù)選擇的工藝氣體不同，等離子清洗分為化學(xué)清洗、物理清洗及物理化學(xué)清洗。
等離子體的表面改性：清洗作用、刻蝕作用、活化作用、涂層
等離子清洗機(jī)的工作原理：在真空狀態(tài)下，壓力越來越小，分子間間距越來越大，分子間力越來越小，利用射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應(yīng)活性或高能量的離子，然后與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì)，然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質(zhì)清除出去，從而達(dá)到表面清潔、活化等目的。如圖所示：
等離子清洗機(jī)的主要應(yīng)用領(lǐng)域：
1、精密電子
2、半導(dǎo)體行業(yè)
3、汽車制造
4、生物醫(yī)療器械
5、包裝印刷
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